日本SMC真空阀,SMC高真空L型阀

日本SMC真空阀,SMC高真空L型阀

特长    
采用精密铸造一体化结构，无气体滞留。
与铝制高真空L型阀XL系列的安装有互换性 (XM系列)

SMC高真空阀L型及直通型
在半导体制造过程中,腐蚀装置,喷镀装置,粒子注入装置和CVD装置等许多部分,都要把芯片和液晶基板方在真空是内处理,该真空室供气,排气(真空)用阀,要求它们无泄漏,耐腐蚀且是洁净规格.

SMC高真空阀L型及直通型型号列表

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:李  生 
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日本SMC真空阀,SMC高真空L型阀

XLA-16
XLA-160
XLA-16-2
XLA-16A-F9NA
XLA-16A-M9NA
XLA-16G-M9//
XLA-16G-M9NLA
XLA-16H0-F9NLA
XLA-16-M9NA
XLA-16-M9NLA
XLA-25
XLA-25-2
XLA25-30-1-M9//
XLA-25A
XLA-25A-M9NC
XLA-25G
XLA-25G-F9NLA
XLA-25G-M9//
XLA-25G-M9NLA
XLA-25-M9//
XLA-25-M9NLA
XLA-40
XLA-40-2
XLA-40A
XLA-40G-2M9NLA
XLA-40GH0
XLA-40G-M9//
XLA-40G-M9NLA
XLA-40-M9//
XLA-40-M9NLA
XLA-50
XLA-50-2
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XLA-63
XLA-63-2M9//
XLA-63DA-F9NA
XLA-63DA-M9NA
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XLA-80
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XLC-16
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XLC-40
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XLC-80-1
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XLD-50
XLD-50-M9BA
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XLF-16-M9PA
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XLF-40
XLF-40H3
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XLG-25
XLG-25-M9BLA
XLG-25-M9NA
XLG-40
XLG-40-M9NA
XLG-40-M9NC
XLG-50
XLG-50-1
XLG-50-M9BLA
XLG-50-M9NLA
XLG-80
XLG-80-1
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XLH-25
XLH-25-XN1A
XLH-50
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XLS-16-5D
XLS-16-5G
XLS-16-P2G
XLS-16-P4G
XLS-16-P5G
XLS-25-5G
XLS-25-P2G
XLS-25-P5G
XLS-25-PG
XMA-16
XMA-25
XMA-40
XMA-40-A90LA
XMA-40A-M9//
XMA-40A-M911
XMA-40A-M9NL
XMA-40A-M9NLC
XMA-40CM
XMC-16
XMC-40
XMD-63DL-M9//
XMF-16A